分析:從流體動力學的角度來講,塗布液體在不同位置受力不穩定造成了此缺陷。該不穩定在塗布基材上就會呈現橫向方向的正弦波形分布的塗布厚度不均。
結論:
第一步,是要确定你現在的工藝是否在合理的工藝窗口(process window)内因爲你知道了工藝窗口,才知道怎麽調啊。你不能瞎調碰運氣啊!在塗布時,很多工藝參數是可調的,而且通過調整可以達到你想要的效果。
第二步,如果你真不知道工藝窗口,那也有一些常規通用的辦法。稀釋你的塗布溶液,降低溶液粘度 (其實就是降低溶液的Ca)看是否可以加一些表面活性劑,如果是輥塗,減小輥子的直徑也是一種有效的辦法。